Funzionamento dell'armadio di controllo elettrico
1. Accendere la pompa dell'acqua e la fonte di gas.
2. Accendere l'alimentazione principale.
3. Accendere l'alimentazione della pompa di manutenzione e del manometro e la posizione V1 del manometro del vuoto. Attendere che il suo valore sia inferiore a 10 prima di entrare nel passaggio successivo. Ci vogliono circa 5 minuti.
4. Accendere la pompa meccanica, pre-pompa, attivare l'alimentazione della pompa turbomolecolare e avviarla. Cambiare l'interruttore del manometro sotto vuoto in posizione V2 e pompa fino a quando non è inferiore a 2. Ci vogliono circa 20 minuti.
5. Dopo aver osservato che la lettura della pompa turbolecolare raggiunge i 250, spegnere la pre-pompa, accendere la pompa anteriore e l'alta valvola a vuoto per continuare a aspirare. Dopo che il vuoto raggiunge un certo livello, l'alto manometro a vuoto a destra può essere acceso per osservare il grado di vuoto. L'alimentazione a pistola elettronica può essere acceso solo dopo che il vuoto raggiunge 2 × 10-3.
Def-6b
1. Alimentazione principale.
2. Accendere la potenza del controllo delle pistole elettroniche ⅰ e il controllo delle pistole elettronico ⅱ contemporaneamente: premere l'interruttore di alimentazione e ritardo del controllo delle pistole elettronico ⅰ, le luci di ritardo, di potenza e protezione si illumineranno e le luci di ritardo e protezione si spegneranno dopo tre minuti. Se la porta posteriore non è chiusa o il relè di flusso d'acqua è difettoso, la luce di protezione sarà sempre attivata.
3. Accendere l'alta tensione, l'alta tensione raggiungerà più di 10 kV, regolerà la corrente di raggio a circa 200 mA, la griglia della tenda è 20 V/100 mA, la corrente del filamento è 1,2a e la corrente di deflessione oscilla tra 1 e 1,7.
Sequenza di arresto
1. Spegnere l'alto indicatore del vuoto e la pompa molecolare.
2. Quando la pompa molecolare mostra 50, spegnere la valvola alta, lo stadio anteriore e la pompa meccanica a turno. Questo periodo richiede circa 40 minuti.
3. Quando è inferiore a 50, spegnere la pompa di manutenzione.
