1. Camera a vuoto
La camera del vuoto è la parte centrale della macchina per rivestimento sotto vuoto. La sua funzione principale è quella di creare un ambiente a vuoto e mantenere il processo di rivestimento in uno stato di vuoto. La camera a vuoto è generalmente realizzata in acciaio inossidabile o materiali in lega di alluminio, con elevata tenuta del vuoto e resistenza alla corrosione.
2. Sistema della pompa
Il sistema della pompa è uno dei componenti chiave della macchina per rivestimento sotto vuoto. È principalmente responsabile dell'estrazione del gas nella camera del vuoto per far raggiungere il grado di vuoto. Il sistema della pompa è generalmente composto da pompe molecolari, pompe meccaniche e pompe di diffusione. Combinazioni di pompe diverse possono ottenere diversi gradi del vuoto e velocità di pompaggio.
3. Dispositivo di serraggio del substrato
Il dispositivo di bloccaggio del substrato è un altro componente importante della macchina per rivestimento sotto vuoto. Viene utilizzato per fissare il materiale del substrato per essere rivestito e controllare la sua posizione e la traiettoria di movimento. Il dispositivo di serraggio del substrato è generalmente composto da una tabella rotante, un meccanismo di sollevamento e un morsetto del substrato. Diversi morsetti possono adattarsi a substrati di diverse forme e dimensioni.
4. Sistema di riscaldamento
Il sistema di riscaldamento è un componente necessario nella macchina del rivestimento sotto vuoto. Può riscaldare il substrato e il materiale di rivestimento per promuovere la formazione del rivestimento e migliorarne la qualità. Il sistema di riscaldamento è generalmente implementato da filo di resistenza, riscaldamento elettromagnetico, riscaldamento a induzione e altri metodi.
5. Fonte di rivestimento
La sorgente di rivestimento è l'ultimo componente nella macchina del rivestimento a vuoto. Viene utilizzato per fornire il materiale che deve essere rivestito, di solito tra cui metalli, ceramiche, silicio e altri materiali. La fonte di rivestimento può depositare il materiale sul substrato mediante raggio di elettroni, evaporazione, sputtering e altri metodi per formare il rivestimento richiesto.
Riepilogo: la macchina per rivestimento a vuoto è un dispositivo utilizzato per produrre rivestimenti di alta qualità, in cui la camera del vuoto, il sistema di pompaggio, il dispositivo di bloccaggio del substrato, il sistema di riscaldamento e la sorgente di rivestimento sono i suoi componenti principali. Questi componenti lavorano insieme per completare il processo di preparazione del rivestimento.
