I requisiti di base per lo scarico a basso vuoto della macchina per rivestimento sottovuoto sono elevati pressione di lavoro e grande volume d'aria, ma i requisiti per la velocità di pompaggio non sono buoni come quelli dell'unità di vuoto elevato. Pertanto, il basso esaurimento sottovuoto della macchina per rivestimento viene generalmente utilizzato come camera a vuoto ruvido. Le pompe a vuoto basse di solito adottano la pompa delle radici, la pompa di adsorbimento del setaccio molecolare, la pompa a getto a vapore a vapore, la pompa a vapore, la pompa dell'anello d'acqua, la pompa alternativa, la pompa della tenuta dell'olio, ecc. Queste comuni pompe a vuoto basso possono essere scaricate direttamente nell'atmosfera ad eccezione della pompa della pompa dei radici e della pompa a vapore. Altre pompe possono essere scaricate direttamente nell'atmosfera.
Il vantaggio è che può proteggere la pompa meccanica, ma lo svantaggio è che riduce l'effettiva velocità di pompaggio della pompa, aumenta il budget economico dell'attrezzatura e ostacola la manutenzione dell'attrezzatura. Allo stato attuale, ci sono due tipi di collezionisti di polvere sul mercato: collettore di polvere grossolana (collettore di polvere in maglia metallica, collettore di polvere di ciclone) e collettore di polvere fine (collettore di polvere di pellicola di olio e collettore di polvere di nebbia di olio).
1. Rimozione di polvere grossolana (collettore di polvere a rete metallica)
La versione di base del collettore di polvere in mesh metallica è il filtro chip in acciaio, che ha una struttura relativamente semplice. È un dispositivo semplice che mette i trucioli di taglio in metallo in una borsa a maglie di filo. Installato all'uscita del tubo della camera del vuoto del rivestimento, è facile da eliminare e spingere. La dimensione di questo collettore di polvere è generalmente di 20-60 cm. Il suo principio di lavoro è fare affidamento sull'effetto barriera meccanica del chip, che può rimuovere alcune particelle più grandi nella polvere e ha anche un certo effetto di raffreddamento. Nel successivo dispositivo di rimozione della polvere in rete metallica migliorata, parte dell'olio della pompa viene installata nel serbatoio dell'olio, in modo che la maggior parte delle particelle di polvere nel flusso d'aria possano essere rimosse nell'olio e le particelle di polvere che non sono fissate alla superficie dell'olio vengono rimosse dalla maglia metallica.
2. Rimozione della polvere fine (collettore di polvere di pellicola di olio)
Il cilindro della macchina per rivestimento sottovuoto è dotato di un diaframma metallico multistrato con fori e il diaframma è dotato di un anello di metallo o ceramica. Il cilindro è dotato di un ugello di anello di iniezione di olio con una pompa dell'olio circolante, in modo che la polvere possa essere attaccata al film d'olio quando il flusso d'aria passa. Non ha solo una buona capacità di rimozione della polvere, ma ha anche un buon effetto di raffreddamento del gas.
