Risoluzione dei problemi comuni nelle pellicole sputtered magnetron

May 09, 2026

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magnetron sputtering coating equipment

 

Lo strato di pellicola è opaco e annerito.

(1) Il livello di vuoto è inferiore a 0,67 Pa. Il livello di vuoto deve essere aumentato a 0,13-0,4 Pa.

(2) La purezza dell'argon è inferiore al 99,9%. Dovrebbe essere utilizzato argon con una purezza del 99,99%.

(3) Perdita del sistema di riempimento del gas. Controllare il sistema di riempimento del gas ed eliminare le perdite.

(4) Primer non completamente indurito. Il tempo di polimerizzazione del primer dovrà essere opportunamente prolungato.

(5) Ventilazione eccessiva dalla parte placcata. È necessario eseguire un trattamento di asciugatura e sigillatura. La superficie dello strato di pellicola ha una lucentezza opaca.

(6) Primer scarsamente polimerizzato o deteriorato. Il tempo di indurimento del primer deve essere opportunamente prolungato oppure il primer deve essere sostituito.

(7) Il tempo di sputtering è troppo lungo. Dovrebbe essere opportunamente abbreviato.

(8) La velocità di formazione della pellicola di sputtering è troppo elevata. La corrente o la tensione di sputtering devono essere opportunamente ridotte.

 

Colore della pellicola non uniforme

(1) Applicazione di primer non uniforme. Il metodo di applicazione del primer dovrebbe essere migliorato.

(2) Lo strato di pellicola è troppo sottile. La velocità di sputtering dovrebbe essere adeguatamente aumentata o il tempo di sputtering dovrebbe essere esteso.

(3) Progettazione dell'attrezzatura inappropriata. Il design dell'apparecchio dovrebbe essere migliorato.

(4) La geometria della parte placcata è troppo complessa. La velocità di rotazione della parte placcata dovrebbe essere opportunamente aumentata.
 

Pellicola spiegazzata e screpolata

(1) Il primer è applicato in uno strato troppo spesso. Lo spessore deve essere controllato entro un range di 7-10 tan.

(2) La viscosità della vernice è troppo elevata. Dovrebbe essere opportunamente ridotto.

(3) Il tasso di evaporazione è troppo veloce. Dovrebbe essere opportunamente rallentato.

(4) La pellicola è troppo spessa. Il tempo di sputtering dovrebbe essere opportunamente ridotto.

(5) La temperatura della parte placcata è troppo alta. Il tempo di riscaldamento della parte placcata dovrebbe essere opportunamente ridotto.
 

Sulla superficie del rivestimento sono presenti filigrane, impronte digitali e particelle di polvere.

(1) Le parti placcate non sono state sufficientemente asciugate dopo la pulizia. Il trattamento pre-di placcatura dovrebbe essere rafforzato.

(2) Gocce d'acqua o saliva vengono spruzzate sulle parti placcate. La produzione civilizzata dovrebbe essere rafforzata; gli operatori dovranno indossare mascherine.

(3) Le impronte rimangono sulle parti placcate dopo il contatto delle mani con il primer. Il contatto delle mani con le parti placcate deve essere severamente vietato.

(4) Sono presenti particelle nella vernice. La vernice dovrebbe essere filtrata o sostituita.

(5) La rimozione della polvere elettrostatica è inefficace o sono presenti particelle di polvere nell'ambiente di spruzzatura e essiccazione. Il raccoglitore di polvere deve essere sostituito e l'ambiente di lavoro deve essere mantenuto pulito.

 

Scarsa adesione della pellicola

(1) Sgrassaggio incompleto del pezzo. Il trattamento pre-di placcatura dovrebbe essere rafforzato.

(2) Camera del vuoto sporca. La camera del vuoto deve essere pulita. È importante notare che durante il carico e lo scarico del target, le mani o oggetti sporchi non devono entrare in contatto con la sorgente del magnetron per garantirne l'elevata pulizia, che è una delle misure chiave per migliorare l'adesione della pellicola.

(3) Apparecchio sporco. L'apparecchio dovrebbe essere pulito.

(4) Selezione del primer inappropriata. Il primer dovrebbe essere sostituito.

(5) Condizioni inadeguate del processo di sputtering. Le condizioni del processo di sputtering dovrebbero essere migliorate.

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