Macchina per rivestimento sottovuotosi riferisce principalmente a un tipo di rivestimento che deve essere eseguito sotto un grado di vuoto relativamente elevato, compresi molti tipi, tra cui l'evaporazione ionica sotto vuoto, lo sputtering del magnetron, l'epitassia del fascio molecolare MBE, la deposizione mediante sputtering laser PLD, ecc. L'idea principale è quella di dividerlo in due tipi: evaporazione e sputtering.
Il processo di colorazione sfumata utilizza generalmente apparecchiature di rivestimento sputtering magnetron. Attualmente, gli involucri di colore sfumato di molti modelli di telefoni cellulari come Huawei e Lenovo utilizzano il processo di rivestimento gradiente sotto vuoto PVD.
Lo sputtering del magnetron è un tipo di deposizione fisica da vapore (Physical Vapor Deposition, PVD). Il metodo generale dello sputtering può essere utilizzato per preparare metalli, semiconduttori, isolanti e altri materiali e presenta i vantaggi di un'attrezzatura semplice, un facile controllo, un'ampia area di rivestimento e una forte adesione.
Il metodo di sputtering del magnetron sviluppato negli anni '70 ha raggiunto velocità elevate, basse temperature e danni minimi. Poiché lo sputtering ad alta-velocità viene eseguito a bassa pressione, la velocità di ionizzazione del gas deve essere effettivamente aumentata. Lo sputtering del magnetron introduce un campo magnetico sulla superficie del catodo target e utilizza il campo magnetico per vincolare le particelle cariche per aumentare la densità del plasma per aumentare la velocità di sputtering.
La macchina per rivestimento sottovuoto a sputtering Magnetron è l'attrezzatura più comunemente utilizzata per rivestire prodotti esistenti in condizioni di vuoto. Una macchina completa per il rivestimento sotto vuoto con sputtering magnetron è composta da più parti del sistema. Ogni sistema può completare diverse funzioni per ottenere il rivestimento finale di alta-qualità. I componenti del rivestimento sputtering magnetron includono camera a vuoto, pompa meccanica, sistema di test del vuoto, pompa di diffusione dell'olio, sistema del vuoto, pompa di condensa, sistema di controllo della formazione della pellicola, ecc.
Il corpo principale della macchina per rivestimento sottovuoto a sputtering magnetron è la camera a vuoto. La dimensione della camera a vuoto è determinata dai prodotti lavorati. La dimensione del rivestimento sputtering del magnetron può essere personalizzata. La camera è generalmente realizzata in acciaio inossidabile e deve essere resistente, durevole e priva di ruggine-. La camera a vuoto con rivestimento sputtering magnetron è dotata di numerose valvole di collegamento per collegare varie pompe ausiliarie.
Il sistema di controllo della formazione della pellicola di rivestimento sputtering magnetron può adottare diversi metodi, come tempo di placcatura fisso, ispezione visiva, monitoraggio estremo e monitoraggio delle vibrazioni dei cristalli. Anche le macchine per rivestimento sotto vuoto e i metodi di rivestimento per macchine per rivestimento sotto vuoto sono suddivisi in vari processi. Quelli comunemente usati includono il rivestimento per evaporazione ionica e il rivestimento sputtering magnetron. Lo strato di pellicola placcato mediante sputtering con magnetron ha una forte adesione ed elevata purezza e può spruzzare una varietà di materiali con composizioni diverse contemporaneamente.
