1. Condizioni ambientali standard: temperatura 20 gradi, umidità relativa 65%, pressione atmosferica 101325 Pa.
2. Stato standard del gas: temperatura 0 gradi, pressione 101325 Pa.
3. Pressione (intensità): la velocità di variazione della quantità di moto delle molecole di gas che passano attraverso un piano immaginario lungo la direzione normale positiva di quel piano, divisa per l'area di quel piano; ovvero la componente normale della forza esercitata dalle molecole del gas sulla superficie del suo contenitore, divisa per la superficie.
4. Pascal (simbolo: Pa): l'unità SI di pressione, 1 Pa=1 N/m².
5. Pressione parziale: la pressione di un componente specifico in una miscela di gas.
6. Pressione totale: la somma delle pressioni di tutti i componenti in una miscela di gas.
7. Vuoto: uno stato gassoso al di sotto di un'atmosfera di pressione all'interno di uno spazio specificato.
8. Grado di vuoto: la rarefazione di un gas in condizioni di vuoto, solitamente espressa come valore di pressione.
9. Gas: una sostanza che non è vincolata da forze intermolecolari e può occupare liberamente qualsiasi spazio. (Nota: nella tecnologia del vuoto, il termine "gas" non è strettamente applicato a gas e vapori non-condensabili.)
10. Gas non-condensabile: un gas al di sopra della sua temperatura critica, ovvero un gas che non può essere liquefatto semplicemente aumentando la pressione.
11. Vapore: un gas al di sotto della sua temperatura critica, ovvero un gas che può essere liquefatto semplicemente aumentandone la pressione.
12. Pressione di vapore saturo: la pressione di vapore di una sostanza a una data temperatura quando il suo vapore e la fase condensata sono in equilibrio di fase.
13. Grado di saturazione: il rapporto tra la tensione di vapore e la sua pressione di vapore saturo.
14. Vapore saturo: vapore a una data temperatura la cui pressione è uguale alla pressione del vapore saturo.
15. Vapore insaturo: vapore a una determinata temperatura la cui pressione è inferiore alla pressione del vapore saturo.
16. Densità del numero molecolare (unità: m⁻³): il numero di molecole nel volume che circonda un punto in un gas in un dato istante, diviso per il prodotto.
17. Percorso libero medio: la distanza percorsa da una molecola in due collisioni consecutive con altre molecole di gas è chiamata percorso libero. La media di un numero considerevole di cammini liberi diversi è detta cammino libero medio.
18. Tasso di collisione: il numero medio di collisioni che una molecola (o un'altra particella definita) subisce rispetto ad altre molecole di gas (o altre particelle definite) entro un dato intervallo di tempo, diviso per quel tempo. Questo numero medio di collisioni dovrebbe essere ottenuto con un numero sufficientemente elevato di molecole e un intervallo di tempo sufficientemente lungo.
19. Tasso di collisione volumetrico: il numero medio di collisioni tra molecole di gas all'interno di un intervallo spaziale attorno a un punto specifico entro un dato intervallo di tempo, diviso per quel tempo e il volume di tale intervallo spaziale. L'intervallo di tempo e il volume non dovrebbero essere troppo piccoli.
20. Quantità di gas: il prodotto del volume occupato da un gas ideale in equilibrio e la sua pressione. Questo valore deve specificare la temperatura del gas o essere convertito in un valore a 20 gradi. (Nota: la quantità di gas si riferisce a 2/3 dell'energia intrinseca (o energia potenziale) del gas nel volume occupato da quella quantità di gas.)
21. Diffusione del gas: il movimento di un gas in un altro mezzo dovuto a un gradiente di concentrazione. Il mezzo può essere un altro gas (nel qual caso la diffusione è chiamata interdiffusione) o una sostanza condensabile.
22. Sistema di diffusione: rapporto tra il valore assoluto della portata massica per unità di superficie e il normale gradiente di concentrazione per unità di superficie.
23. Flusso viscoso: uno stato di flusso in cui il percorso libero medio delle molecole di gas è molto più piccolo della dimensione minima della sezione trasversale del condotto. Pertanto la portata dipende dalla viscosità del gas; il flusso viscoso può essere laminare o laminare.
24. Coefficiente di viscosità: il rapporto tra la forza tangenziale per unità di area nella direzione del gradiente di velocità del gas rispetto al gradiente di velocità.
25. Flusso di Poisson: flusso di viscosità laminare- attraverso un lungo condotto a sezione trasversale- circolare.
26. Flusso intermedio: flusso di gas attraverso un condotto in uno stato intermedio tra flusso laminare e molecolare.
27. Flusso molecolare: flusso in cui il percorso libero medio delle molecole di gas è molto più grande dell'area della sezione trasversale massima del condotto.
28. Numero di Knuth: Il rapporto tra il percorso libero medio delle molecole di gas e il diametro del condotto.
29. Sfioratore molecolare: flusso quando il gas fluisce attraverso un orifizio a pareti sottili-, dove il percorso libero medio delle sue molecole è molto più grande della dimensione dell'orifizio.
30. Fuga: flusso di gas attraverso un materiale poroso causato da una differenza di pressione.
31. Fuga termica: nel flusso molecolare, il flusso di gas avviene tra due contenitori collegati a causa delle differenze di temperatura. Quando il trasporto del gas raggiunge l'equilibrio, tra i due contenitori si forma un gradiente di pressione.
32. Portata molecolare: la differenza tra il numero di molecole che passano attraverso una superficie in una determinata direzione e il numero di molecole che passano attraverso la superficie nella direzione opposta entro un dato intervallo di tempo, diviso per il tempo.
33. Densità della portata molecolare: portata molecolare divisa per l'area superficiale.
34. Portata massica: la massa di gas che passa attraverso una sezione trasversale-in un dato intervallo di tempo, divisa per il tempo.
35. Portata: la quantità di gas che passa attraverso una sezione trasversale- entro un dato intervallo di tempo, diviso per il tempo.
36. Portata volumetrica: il volume di gas che passa attraverso una sezione trasversale- in determinate condizioni di temperatura, pressione e intervallo di tempo, diviso per quel tempo.
37. Il numero di moli di gas che passano attraverso una data sezione trasversale-in un dato intervallo di tempo, diviso per quel tempo.
38. Distribuzione della velocità di Maxwell: una distribuzione della velocità determinata dalla funzione di distribuzione della velocità di Maxwell-Boltzmann. Cioè, la distribuzione della velocità delle molecole di gas in equilibrio ad una data temperatura e quando la distanza dalla parete del contenitore è maggiore del percorso libero medio delle molecole.
39. Probabilità di trasporto: la probabilità che le molecole che entrano casualmente nell'ingresso di un condotto escano attraverso l'uscita.
40. Conduttività molecolare: la conduttività molecolare del gas che scorre attraverso due sezioni trasversali o orifizi specificati di un tubo, espressa come rapporto tra la sua portata molecolare e la differenza media di densità del numero molecolare tra le due sezioni trasversali o orifizi del tubo.
41. Conduttività: in condizioni isotermiche, il rapporto tra la portata di un gas attraverso un condotto o un orifizio e la differenza di pressione media attraverso due sezioni trasversali specificate del condotto o dell'orifizio.
42. Conduttività intrinseca: in condizioni in cui la distribuzione della velocità di Maxwell domina in un contenitore, la conduttività di un condotto (o orifizio) che collega due di tali contenitori. In condizioni di flusso molecolare, è uguale al prodotto della conduttività in ingresso e della probabilità di trasporto.
43. Resistenza al flusso: il reciproco della conduttività.
44. Adsorbimento: La cattura di gas o vapore (adsorbato) da parte di un solido o liquido (adsorbente).
45. Adsorbimento superficiale: l'adsorbimento di gas o vapore (adsorbito) sulla superficie di un solido o liquido (adsorbente).
46. Assorbimento fisico: adsorbimento dovuto a processi fisici.
47. Chemiadsorbimento: adsorbimento dovuto a processi chimici.
48. Assorbimento: La diffusione di gas o vapore (adsorbato) all'interno di un solido o liquido (adsorbente).
49. Coefficiente di adattamento: Il rapporto tra l'energia media effettivamente scambiata tra una particella incidente su una superficie e la superficie e l'energia media che la particella dovrebbe scambiare per raggiungere il completo equilibrio termico sulla superficie.
50. Tasso di incidenza: il numero di molecole incidenti su una superficie in un dato intervallo di tempo, diviso per quel tempo e l'area superficiale.50. Tasso di incidenza: il numero di molecole incidenti su una superficie in un dato intervallo di tempo, diviso per quel tempo e l'area superficiale.
51. Tasso di condensazione: il numero di molecole (o massa di materia) condensate su una data area superficiale entro un dato intervallo di tempo, diviso per quel tempo e quella superficie.
52. Tasso di adesione: il numero di molecole adsorbite su una superficie in un dato intervallo di tempo, diviso per quel tempo e per quella superficie.
53. Probabilità di adesione: il rapporto tra il tasso di adesione e il tasso di incidenza.
54. Tempo di residenza: il tempo medio in cui una molecola rimane confinata in uno stato adsorbito su una superficie.
55. Migrazione: il movimento delle molecole su una superficie.
56. Desorbimento: rilascio di gas o vapore adsorbito da un materiale. Il rilascio può essere naturale o accelerato con metodi fisici.
57. Degasaggio: il desorbimento artificiale di gas da un materiale.
58. Degasaggio: il naturale desorbimento del gas da un materiale.
59. Desorbimento, degasaggio o velocità di rimozione del gas: la portata (o portata molecolare) del gas desorbito (o degasato) dal materiale entro un dato intervallo di tempo, diviso per quel tempo e quella superficie.
60. Tasso di evaporazione: il numero di molecole (o massa di materia) evaporate dalla superficie in un dato intervallo di tempo, diviso per quel tempo e per quella superficie.
61. Permeazione: Il fenomeno del gas che passa attraverso uno strato barriera solido. Questo fenomeno include la diffusione del gas attraverso un solido e può includere anche altri fenomeni superficiali.
62. Permeabilità: in condizioni di flusso stazionario, la portata del gas attraverso uno strato barriera (come la parete di un recipiente) divisa per una funzione delle pressioni su entrambi i lati dello strato barriera. La forma di questa funzione dipende dai processi fisici coinvolti nella permeazione effettiva.
63. Coefficiente di permeabilità: il prodotto della permeabilità e dello spessore dello strato barriera, diviso per la superficie permeabile.
Quanto sopra è un riepilogo dei comuniapparecchiature per il rivestimento sotto vuototermini del settore. Ci auguriamo che queste informazioni siano utili, poiché padroneggiare questi termini è essenziale per entrare nel settore del vuoto.
