Molti clienti sono confusi al momento dell'acquistomacchine per rivestimento sotto vuoto. Sanno di quale tipo e modello di macchina di rivestimento hanno bisogno, ma non possono determinare quali standard la macchina deve soddisfare per essere considerata di buona qualità e di alta-qualità. Questa confusione li porta a prendere molte deviazioni. Di seguito, Puyuan Vacuum fornirà un'introduzione dettagliata ai requisiti tecnici di base che una macchina di rivestimento sottovuoto deve soddisfare.
Evaporazione sotto vuoto, ionizzazione catodica, sputtering con magnetron:
1.La struttura delle tubazioni del vuoto e dei componenti di tenuta statica nell'apparecchiatura deve essere conforme a GB/T6070.
2.I misuratori del vuoto devono essere installati sulle tubazioni a basso-vuoto e ad alto-vuoto e sulla camera di rivestimento a vuoto per misurare il livello di vuoto in ogni posizione. Se viene rilevata un'interferenza dal campo elettrico, è necessario installare un dispositivo di schermatura del campo elettrico sulla porta di misurazione.
3.Se la pompa principale utilizzata nell'apparecchiatura di rivestimento PVD è una pompa a diffusione, è necessario installare un separatore per vapori d'olio sul lato di ingresso della pompa.
4. La camera di rivestimento dell'apparecchiatura di rivestimento sotto vuoto deve essere dotata di una finestra di osservazione e di un dispositivo deflettore. La finestra di osservazione dovrebbe consentire l'osservazione dello stato di funzionamento della fonte di deposizione e di altri componenti critici.
5. Il design della sorgente di deposizione della placcatura ionica dovrebbe massimizzare il tasso di ionizzazione durante il processo di rivestimento, migliorare il tasso di utilizzo del materiale di rivestimento, abbinare razionalmente la potenza della sorgente di deposizione e organizzare razionalmente la posizione della sorgente di deposizione all'interno della camera a vuoto.
6.Il dispositivo di riscaldamento dovrebbe essere organizzato in modo razionale; in generale, la disposizione della struttura del riscaldatore dovrebbe garantire un aumento uniforme della temperatura del pezzo da placcare.
7. Il supporto del pezzo deve essere isolato dalla camera del vuoto e il design del supporto del pezzo deve garantire che lo strato di pellicola del pezzo sia uniforme.
8. Le macchine per rivestimento ionico sotto vuoto dovrebbero generalmente avere una tensione di polarizzazione negativa del pezzo e un'alimentazione elettrica a bombardamento ionico. L'alimentatore a bombardamento ionico dovrebbe essere dotato di un dispositivo per sopprimere le scariche anomale e mantenere un funzionamento stabile.
9.I valori di resistenza di isolamento tra le diverse parti della camera a vuoto collegate a potenziali diversi devono essere conformi a 4.4.6 di GB/T11164-1999.
10. Altre precauzioni
(1) Temperatura ambiente: 10-30 gradi
(2) Umidità relativa: non superiore al 75%
(3) Temperatura di ingresso dell'acqua di raffreddamento: non superiore a 25 gradi
(4) Qualità dell'acqua di raffreddamento: acqua di rubinetto comunale o acqua di qualità equivalente.
(5) Alimentazione: 380 V tri-fase 50 Hz o 220 V mono-fase 50 Hz (a seconda degli apparecchi elettrici utilizzati); intervallo di fluttuazione della tensione: 342-399 V o 198-231 V; intervallo di fluttuazione della frequenza: 49-51Hz.
(6) La pressione, la temperatura e il consumo di aria compressa, azoto liquido, acqua fredda, acqua calda, ecc. richiesti dall'apparecchiatura devono essere specificati nel manuale di istruzioni del prodotto.
(7) L'ambiente circostante l'apparecchiatura deve essere pulito e l'aria deve essere priva di polvere o gas che potrebbero causare la corrosione dei componenti elettrici o di altre parti metalliche o la conduzione tra metalli.
